日本大仓电气OHKURA流量控制阀CF111/CF121/CF112/CF122

日本大仓电气（OHKURA）的流量控制阀主要用于精密气体或液体流量的控制与调节，广泛应用于对流量精度、稳定性和响应速度要求较高的工业领域。

其产品线主要包括质量流量控制器（MFC）和微型调节阀，核心用途如下：

主要用途

半导体制造：在晶圆加工、化学气相沉积（CVD）、蚀刻等工艺中，精确控制工艺气体（如氩气、氮气、氧气）的流量，确保制程一致性。其超高纯度型号（如采用金属波纹管密封）可满足10⁻⁶ Pa级真空环境和≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s的泄漏率要求10。

分析仪器与实验室：用于气相色谱仪（GC）、质谱仪（MS）等设备的载气、辅助气流量控制，保证分析结果的重复性和准确性

工业自动化与过程控制：在化工、制药、食品加工等行业中，实现生产流程中气体或液体的自动调节与闭环控制，提升效率与安全性

真空系统：部分型号（如CF・CFL系列）专为超高真空系统设计，支持CF法兰接口，适用于真空镀膜、粒子加速器等场景科研与研发：在新材料开发、新能源（如燃料电池）研究等领域，提供稳定、可重复的流量控制解决方案

具体规格型号：

CF111

CF121

CF112

CF122

CF113

CF123

CF114

CF124

CF115

CF125

CF116

CF126

CF211

CF221

CF212

CF222

CF213

CF223

CF214

CF224

CF215

CF225

CF216

CF226

CFL111

CFL121

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